Es gibt verschiedene Spezifikationen und Typen von Wafern. Hier sind einige gängige Waferspezifikationen und -typen:
1. Durchmesser: Der Durchmesser eines Wafers ist eine der am häufigsten verwendeten Spezifikationen. Gängige Durchmesser sind:
– 200 mm: auch als 8-Zoll-Wafer bekannt.
– 300 mm: auch als 12-Zoll-Wafer bekannt.
– 150 mm, 100 mm, 75 mm, 50 mm usw.
2. Dicke: Die Dicke von Wafern wird üblicherweise während des Herstellungsprozesses kontrolliert und angepasst. Gängige Dickenbereiche sind:
– 650 μm: häufig in früheren Verfahren verwendet.
– 550 μm, 450 μm, 380 μm: mit fortschreitender Technologie und schrumpfenden Verfahren nimmt die Dicke ab.
– Ultradünne Wafer: In einigen fortschrittlichen Verfahren kann die Waferdicke viel geringer als herkömmliche Dicken sein und unter 100 μm liegen.
3. Substratmaterialien: Wafer können aus verschiedenen Substratmaterialien hergestellt werden Zu den üblichen Materialien gehören:
- Silizium (Si): Das am häufigsten verwendete Substratmaterial für die Halbleiterherstellung.
- Siliziumkarbid (SiC): Wird für die Herstellung von elektronischen Geräten mit hoher Leistung und optoelektronischen Geräten verwendet.
- Galliumnitrid (GaN): Wird für die Herstellung von LEDs und elektronischen Geräten mit hoher Leistung verwendet.
- Saphir (Al2O3): Wird für die Herstellung optoelektronischer Geräte verwendet.
4. Strukturtypen: Wafer können unterschiedliche Strukturtypen aufweisen. Einige übliche Klassifizierungen sind:
- Silicon-on-Insulator (SOI): Wafer mit einer bestimmten Dicke der Isolierschicht, die üblicherweise für die Herstellung von integrierten Schaltkreisen mit hoher Leistung verwendet werden.
- Gestapelte Wafer: Für 3D-Verpackung und -Integration übereinander gestapelte Wafer.
- Verbundwafer: Wafer, die unterschiedliche Materialien integrieren, um bestimmte Anwendungsanforderungen zu erfüllen.
Dies sind nur einige der üblichen Waferspezifikationen und -typen. Tatsächlich gibt es noch viele weitere Spezifikationen und Typen, um die Anforderungen verschiedener Anwendungsfelder zu erfüllen.
Wo kann man solche Wafer kaufen?
DSXUV bietet eine große Auswahl an Wafersubstraten. Wenden Sie sich für eine technische Beratung bitte an unseren Kundendienst.