Die Oblate UV-Härtungssystem Die Maschine ist eine Schlüsselkomponente in der Halbleiterfertigung zur Entfernung von Klebstoffen. Sie nutzt UV-LED-Licht, um die Viskosität des Klebstoffs zu reduzieren oder zu zersetzen, und wird hauptsächlich im Verpackungsprozess nach dem Chip-Slicing eingesetzt, um die Produktionseffizienz und Produktqualität zu verbessern.

Die Oblate UV-Härtungssystem spielt eine Brückenfunktion im Halbleiterverpackungsprozess

Nach dem Schneiden, Ablösen: Vor dem Schneiden des Chips muss der Waferrahmen mit einer Schneidklebefolie fixiert werden. Nach dem Schneiden wird die Klebefolie durch UV-Bestrahlung ausgehärtet, wodurch die Haftung der Fixierfolie verringert und das Ablösen des Wafers oder Chips in nachfolgenden Verpackungsprozessen erleichtert wird.

Breites Anwendungsspektrum: Neben der Halbleitergehäusefertigung wird es auch für UV-Entbindungsprozesse von Materialien wie Glasschneiden, Keramikbearbeitung, optischen Linsen und integrierten LED-Chips eingesetzt.

Funktionsprinzip und Vorteile:

Funktionsprinzip

Das von UV-LEDs erzeugte ultraviolette Licht (Wellenlänge 365 nm-405 nm) bestrahlt den Klebstoff und bewirkt photochemische Reaktionen in den Molekülen, die zur Aushärtung, Zersetzung oder zum Abbau führen.

Kernkompetenzen

1. Die Kaltlichtquelle erzeugt keine Wärmestrahlung, wodurch thermische Schäden am Wafer vermieden werden.

2. Lange Lebensdauer (ca. 20.000 Stunden), die herkömmliche Quecksilberdampflampen weit übertrifft.

3. Hoher photoelektrischer Wirkungsgrad, der mehr als 30 % Energie einspart.

4. Geschlossenes Design zum Schutz vor UV-Strahlung, hohe Sicherheit

Steigerung der Produktionseffizienz: Der automatisierte Ablöseprozess reduziert manuelle Eingriffe und ermöglicht in Kombination mit intelligenter Temperaturregelung und programmierbaren Parametern die Anpassung an unterschiedliche Spezifikationen wie 6-Zoll-, 8-Zoll- und 12-Zoll-Wafer.

Umweltschutz und Kostenoptimierung: Kein Bedarf an chemischen Lösungsmitteln, wodurch die Umweltbelastung reduziert wird; geringer Energieverbrauch und langlebiges Design senken die langfristigen Betriebskosten.