Die Maskierungsfunktion von Umweltfreundliches UV-LED-Belichtungssystem Ermöglicht Auflösungen von weniger als 2µm. Dies ist ein neuer Ansatz der Maskierung, LED-Erzeugung und unerreichten Kollimationsleistung.
Modell Nr. :
DSX-KYUV30 UV LED MaskerMarke:
DSXUVVersandhafen :
ShenzhenZahlung :
T/T 100% before shipmentursprüngliche Region :
ChinaDSX-KYUV30 Niedertemperatur-UV-Maskierungs-Sekundenkleber mit Superhärtung, halbautomatisch UV-LED-Belichtungsmaschine
Das Belichtungs- und Maskierungssystem ist das erste auf dem internationalen Markt erhältliche UV-LED-Maskierungssystem. Das UV-LED-Maskensystem ist ein kompaktes Belichtungsmaskierungssystem, das mit einem kollimierten und homogenen optischen Kopf auf LED-Basis ausgestattet ist.
Die Maskierungsfunktion ermöglicht Auflösungen von weniger als 2µm. Dies ist ein neuer Ansatz der Maskierung, LED-Erzeugung und unerreichten Kollimationsleistung.
Funktionen des DSX-KYUV30 UV-LED-Maskierungssystem :
1. Null wartungskosten. Für Langzeitarbeiten müssen die Teile der Lichtquelle nicht ausgetauscht werden.
Entwurf des Lebens 2.Long. Es kann 20000 Stunden weiterarbeiten.
3. Niedrige Bestrahlungstemperatur
4. Einzelband UV
5. Kein schaden der menschlichen strahlung licht
6. Touchscreen-Display-Schnittstelle, Parameteränderung, automatische Datenspeicherung, einfache und zuverlässige Bedienung.
7.Das eingebaute Kühlsystem gewährleistet einen langfristigen Normalbetrieb.
8. Stellen Sie mit der Lichtintensitätskorrektur-Steuerschaltung die Gleichmäßigkeit des Lichts sicher.
9.Bottom up Bestrahlung, bequem für die Wafer-Platzierung.
Parameter von Bestes UV-LED-Belichtungssystem für die Fotolithografie :
Außenmaß |
584 L * 540 W * 184 H mm |
Eingangsleistung |
AC 110 V - AC 220 V |
UV-Wellenlänge |
365nm (385nm wählbar) |
Bestrahlungsrichtung |
Bottom-up-Bestrahlung |
Parametereinstellung |
Touchscreen-Bedienung |
Geeignet für Wafergröße |
6 ", 8", 10 ", 12" |
Tipps zum Beenden der UV-Maskierung |
Summer Alarm (oder s und automatisches Beenden) |
Zeit zum Beenden |
Basierend auf UV-Klebeband Eigenschaften (kann so kurz wie 20s sein) |
Zeit Einstellungen |
Unbegrenzt, die kleinste Einheit ist 0.1s |
Belichtungseinstellungen |
20% ~ 100%, mit seiner eigenen Lichtintensitätskorrekturschaltung, ist die Bestrahlungsintensität konstant. |
Systembeschläge |
Kann angepasst werden |
So funktioniert das Fotolithografiesystem
Das Fotolithografiesystem setzt die Fotolackschicht auf der Platte intensivem monochromatischem UV-Licht aus. Dieses gleichmäßige 365-nm-UV-Licht wird von der Maschine nahezu parallel nach unten abgestrahlt. Ein gemusterter Maskierungsschlitten wird über die Platte gelegt. Dies hindert das UV-Licht daran, die Photoresistschicht in dem gewünschten Muster zu erreichen. In unserem Fall verschlechtert die Belichtung mit UV-Licht die noch belichtete Photoresistschicht und ermöglicht es dem Entwickler, sie in einem späteren Schritt zu entfernen, da wir einen positiven Photoresist verwenden.
Einführung von Beste UV-Belichtung für Wafer :
Das UV-Belichtungs- und Maskierungssystem verwendet eine UV-LED-Kaltlichtquelle. Wafer UV Exposure Machine bietet die Standard 365nm UV. Gleichzeitig bietet die Wafer-UV-Belichtungsanlage nach Kundenwunsch eine 385-nm-, 395-nm- und 405-nm-UV-Lichtquelle und eignet sich für die Bereiche Optik, Biotechnologie, Mikroelektronik, Wafer-Bonding, Härtung sowie für eine Vielzahl von Anwendungen wie Zellkulturen. ist weit verbreitet in der UV-Belichtung.
Dieser Satz von UV-LED-Belichtungen verwendet die führende LED-Lichtquellentechnologie, realisiert die UV-Kaltlichtquellenbeleuchtung mit einer Wellenlänge vollständig, eliminiert effektiv den Wärmeeffekt und ist sehr gut für die Verwendung bei ultravioletter Belichtung im Labor oder in Reinräumen geeignet.
Das Wafer-UV-Belichtungssystem hat eine kompakte Struktur, ist einfach zu bewegen und steuert den UV-Maskierungsraum über die Touchscreen-Steuerung vollständig effektiv und sicher.
LED-UV-Lichtquelle der UV-Masken-Belichtungsmaschine hat eine Lebensdauer von bis zu 10.000 Stunden, was sehr zuverlässig und langlebig ist, keine tägliche Wartung erfordert und sehr bequem zu bedienen ist.
6 Zoll Wafer-Expanderringe wird für Halbleiterverpackungs-, Film-, Schneid-, Klebeprozess-Lagergeräte verwendet.
Edelstahl 12'' Eisenring-Waffelrahmen ist starke Härte, Biegefestigkeit, gute Klebrigkeit, Haltbarkeit.
Das Auswahlmaterial von Rostfreier Stahl Waffeleisenringe ist durch SGS-Zertifizierung, hohe Biegefestigkeit, hohe Härte, kann hohe Belastungen tragen, hoher Verschleiß, korrosive Medien.
Aushärten mehrerer 6-Zoll-UV-Wafer gleichzeitig, UV-Filmband-HärtungssystemeReduzieren Sie die Haftfestigkeit aller UV-empfindlichen Würfelbänder unter kontrollierter Umgebung.
Professionelle Fertigung UV-Wafer-Klebeband-Aushärtungsmaschine ist kalorienarm, gute Klebeleistung, schnelle Geschwindigkeit, Umweltschutzausrüstung.
Die Haftfestigkeit wird geringer, wenn UV (ultraviolettes Licht) eingestrahlt wird UV-Klebeband UV-härtende Systeme.